PELLICLE FRAME
포토마스크는 회로패턴을 그리는 쿼츠(투명기판), 투명한 막, 그리고 이런 쿼츠와 막을 아래와 위로 결합하고 패턴 노광 공정을 흐르는 것이 포토마스크용 펠리클 프레임이다.
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LCD PELLICLE FRAME
패턴 노광은 레티클이라 불리는 마스크 기판에 의해 축소 투영 전사시킨다.
이 공정은 모든 프로세스 기술의 중심이며 이런 마스크 기판을 이루는 핵심적 부품이 펠리클 프레임 이다.
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HISTORY
동원하이텍은 반도체 장비부품 제조회사로서 창립 이래 꾸준한 기술개발을 통하여 품질과 최고의 서비스를 제공하여 반도체 사업에 공헌하고 있습니다.
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CEO
인사말
(주)동원하이텍은 반도체 장비부품 제조회사로서 1988년 창립 이래 기술개발을 통하여 완벽한 품질과 최고의 서비스를 제공하여 고객만족 및 반도체 사업에 공헌하고 있습니다.
2005년 부터 시장여건의 변화를 계기로 “혁신경영”의 원년으로 삼아 꾸준한 R&D투자를 통해 LCD PELLICLE FRAME를 개발하여 13건의 특허와 공동특허 3건, 실용신안 1건을 획득하였습니다.
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